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產(chǎn)品展示/ Product display
日本ekusa無污染光刻膠剝離液藥液加熱器所有與液體接觸部件均采用PFA（全氟烷氧基樹脂）無雜質(zhì)溶出：確保藥液純度不受污染低溫加熱器設(shè)計：不會導(dǎo)致藥液劣化耐堿性：對堿性藥液也具有優(yōu)異的耐腐蝕性，不會劣化
產(chǎn)品型號：ECN-60P廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-02-07訪 問 量：39
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日本ekusa無污染光刻膠剝離液藥液加熱器
日本ekusa無污染光刻膠剝離液藥液加熱器
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 型號 | ECN型 |
| 用途 | 半導(dǎo)體藥液清洗裝置在線加熱 |
| 接液部材質(zhì) | 全PFA |
| 使用壓力 | 0.4MPa |
| 使用溫度 | 80°C（標(biāo)準(zhǔn)）/ 120°C（特殊規(guī)格） |
| 加熱器類型 | 低溫設(shè)計 |
| 安全功能 | 過熱報警傳感器、漏水傳感器 |
| 急停溫升 | 約10°C |
| 尺寸 | 超緊湊型 |
| 控制方式 | 可兼容現(xiàn)有電氣控制系統(tǒng) |
| 維度 | 核心價值 |
|---|---|
| 材料純度 | 全PFA接液部，無金屬離子污染 |
| 化學(xué)兼容性 | 耐堿性藥液，無劣化 |
| 溫度范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)80°C，可擴(kuò)展至120°C |
| 安全設(shè)計 | 雙傳感器監(jiān)控（過熱+漏水），急停低升溫 |
| 運(yùn)行可靠性 | 0.4MPa耐壓，抗流動波動 |
| 維護(hù)成本 | 加熱器免更換，幾乎零維護(hù) |
| 安裝便利 | 超緊湊設(shè)計，節(jié)省空間 |
| 系統(tǒng)兼容 | 可利用現(xiàn)有控制系統(tǒng) |
郵箱：akiyama_zhou@163.com
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