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日本yamada山田光學(xué)光掩膜缺陷鹵素檢查燈 本裝置用于半導(dǎo)體晶圓及液晶基板在制程中最耗時(shí)、最依賴(lài)人工的“最終表面”宏觀檢查，可快速發(fā)現(xiàn)異物、劃痕、研磨不均、霧斑、滑移等各類(lèi)缺陷。

Yamada山田光學(xué)潔凈室晶圓檢測(cè)鹵素光源 高亮度鹵素光源裝置是潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體晶圓表面品質(zhì)管理的工具，憑借高照度照明，可識(shí)別表面小至 0.2 μm 的微小顆粒。

日本P.R.A.靜電卡盤(pán)ESC高壓電源 電壓可調(diào) 電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當(dāng)硅片靠近時(shí)，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。

日本P.R.A.半導(dǎo)體靜電卡盤(pán)用高壓ESC電源 電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當(dāng)硅片靠近時(shí)，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。

日本lightest薄膜樹(shù)脂缺陷透射檢查點(diǎn)光源 點(diǎn)光源高指向性，微小劃痕也能放大可見(jiàn) 高亮度、均勻照度，約60°寬照射角